산업 EC Ffu의
산업 EC Ffu의낮은 에너지 소비, 저소음, 편리성과 유연성, 공간 절약, 설치 용이 고효율 필터(HEPA) 또는 초고효율 필터(ULPA)와 마이크로 팬, 그리고 쉘은 난류 및 층류 청정실에서 사용됩니다. FFU는 일반적으로 천장 프레임과 함께 사용되며 해당 FFU는 다른 천장 프레임에 따라 선택됩니다. FFU의 클린 모드는 ISO3∽ISO9(즉, 클래스 1∽1백만) 사이의 공기 청정도 수준으로 클린룸을 달성할 수 있습니다.
일반적인 클린룸 공기 처리 방법에는 MAU+AHU+HEPA(이하 AHU 시스템이라고 함)와 MAU+FFU+DC 건식 코일(이하 FFU 시스템이라고 함)이라는 두 가지 방법이 있습니다. 두 가지 방법을 비교함으로써 FFU는 정화공조시스템에서 정화순환장치의 역할을 하며, 클린룸의 순환풍량은 클린룸 내 FFU의 총 공기량과 동일하다는 결론을 얻었습니다. 클린룸의 공기는 FFU에 의해 깨끗한 천장 메자닌에서 클린룸으로 보내지고 순환 공기는 복귀 공기 채널을 통해 천장 메자닌으로 다시 보내집니다. 순환 공기는 환기 채널을 통과할 때 채널에 설치된 DC 건조 코일과 열교환합니다.
----------------------------FFU의 출현----------------------------
겉모습으로 보면 다음과 같이 나눌 수 있습니다.
형태는 두 가지가 있는데, 하나는 직육면체이고, 다른 하나는 상부가 경사진 형태이다. Clean Room AC/EC Ordinary FFU의 상부는 경사면으로 되어 있어 흐름을 유도하는 역할을 하여 공기의 흐름과 균일한 분포를 유도합니다. 일반적으로 공기 흐름의 균형을 맞추기 위해 다른 방법을 사용합니다.
구조에는 두 가지 유형이 있는데, 하나는 일체형이고 다른 하나는 분할형입니다.
----------------------------분할형 FFU에는 다음과 같은 장점이 있습니다.----------------------------
①필터 교체가 편리해졌습니다.
②설치 과정에서 노동 강도를 줄여줍니다.
FFU의 전체 모양에는 다음과 같은 장점이 있습니다.
①이는 FFU의 밀봉을 증가시키고 누출을 효과적으로 방지합니다.
②소음 감소에 도움이 됩니다.
③진동을 줄이는 데 도움이 됩니다.
----------------------------FFU의 구성요소----------------------------
현재 다양한 Fan Filter Unit - Critical Environment는 최대 다음과 같은 부품(상단에서 하단, 내부에서 외부 순)으로 구성되며, 제조사에 따라 구성품이 축소될 수 있습니다.
1. 프리필터 6. 공기흐름 밸런싱 장치
2. 외부 쉘 7. 필터
3. 덕트 연결부 8. 금속 보호망
4. 모터 9. 칼날
5. 임펠러 10. 제어 요소
----------------------------각 구성요소를 분석하고 소개합니다.----------------------------
사전 필터
일반적으로 세탁 가능한 폴리우레탄 폼으로 공사, 유지보수 또는 기타 예상치 못한 상황에서 발생하는 잔해로 인해 필터가 손상되는 것을 방지하기 위해 주로 사용됩니다.
외부 쉘
구성 요소는 일반적으로 알루미늄 판, 알루미늄 합금, 경질 플라스틱, 스테인레스 스틸 등입니다. 제조업체와 사용 환경에 따라 선택이 다릅니다. 두께는 1.2~2.0 정도이고, 두께에 따라 사람이 들고 다닐 수도 있습니다.
덕트 연결 구성 요소
청정도가 낮은 경우(1000 Federal Standard 209E 이하) 천장 상단에 정압박스가 없습니다. 덕트 연결 부품이 있는 FFU는 덕트와 FFU EC 표준형 - Air Clean 간의 연결을 매우 편리하게 만듭니다.
모터
현재 FFU에는 AC 모터와 DC 모터가 모두 사용됩니다. DC 모터는 크기가 크고 비용이 높으며 제어가 쉽고 에너지 소비가 높습니다. AC 모터는 크기가 작고 비용이 저렴하며 제어를 위해 해당 기술이 필요하고 에너지 소비가 적습니다. 이제 FFU에 사용되는 모터의 수명은 약 40000~100000시간입니다. 일부 우수한 모터에는 오일 프리 윤활, 밀폐형 베어링, 과열 보호 및 크게 향상된 정류자 수명과 같은 해당 기술이 있습니다.
임펠러
임펠러에는 전진형과 후진형의 두 가지 형태가 있습니다. 전방 경사는 공기 흐름 조직의 시상 흐름을 증가시키고 먼지 제거 능력을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 후방 경사는 에너지 소비와 소음을 줄이는 데 도움이 됩니다.
기류 균형 장치
필터 팬 장치/클린룸 기술이 지속적으로 대중화됨에 따라 대부분의 제조업체는 FFU의 출구 공기 흐름을 조정하기 위한 공기 흐름 균형 장치를 장착하여 클린룸의 공기 흐름 분포를 개선하기 시작했습니다. 현재 이 밸런싱 장치는 대략 세 가지 유형으로 나뉩니다. 하나는 천공판으로, 주로 판에 있는 구멍의 밀도 분포에 따라 FFU의 출구 기류를 조정합니다. 하나는 그릴(그림 7 참조)로 주로 그릴의 밀도에 따라 FFU의 출구 공기 흐름을 조정합니다. 다른 하나는 파워커브(Power Curve)로, 주로 곡선의 모양에 따라 기류의 흐름을 유도하고, 곡선에 있는 구멍의 밀도 분포에 따라 기류를 조절하기도 합니다.
필터
FFU에서 사용하는 필터는 청정작업장에서 사용하는 다른 필터와 동일하므로 여기서는 반복하지 않겠습니다.
금속 보호망
금속 보호망은 주로 필터를 보호하는 역할을 하며 대부분 정전기 방지 기능이 있습니다.
칼날
FFU가 특별한 경우에 사용되는 경우 AC 및 ECM 모터 제어 보드|칼날이 있는 팬 필터 장치는 액체 탱크 씰을 사용하여 높은 씰링 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
제어 장치
FFU의 제어는 다중 속도 스위치, 연속 조정, 컴퓨터 제어 등과 같은 여러 유형으로 크게 나눌 수 있으며 동시에 실현되는 기능에는 단일 제어, 파티션 제어, 경보, 작동 상태 표시 등이 포함됩니다. .
----------------------------전자 클린룸에 FFU 적용----------------------------
공기 청정도 수준에 대한 현대 전자 클린룸의 요구 사항과 결합된 FFU의 특성 및 제어 방법 클린룸에서 FFU 적용의 장점을 분석하고 실제 엔지니어링 사례에 FFU 적용을 소개했습니다.
키워드: 팬 필터 장치 - 필터링된 건조 코일 클린룸 공기 청정도 수준 제공
과학기술의 급속한 발전, 특히 군수산업, 항공우주, 전자, 바이오의학의 발전과 함께 청정기술의 발전도 비약적으로 발전해 왔습니다. 현대 공업제품 생산과 현대 과학 실험 활동에는 소형화, 정밀성, 고순도, 고품질, 고신뢰성이 요구됩니다. 전자컴퓨터는 전자관에서부터 반도체 개별소자, 집적회로, 초대형 집적회로에 이르기까지 소형화의 대표적인 산물 중 하나이다.
----------------------------FFU의 기능----------------------------
FFU의 구성 요소 관점에서 볼 때 마이크로 팬만 에너지를 소비하며 마이크로 팬의 전력은 일반적으로 110w∽190w 사이입니다. Filter Fan Unit COMPACT는 덕트 환기에 비해 초기 투자 비용이 높지만, 이후 작동 시 뛰어난 에너지 절약 및 유지 관리가 필요 없는 특성을 갖습니다. 일반적으로 클린룸의 순환 공기량은 매우 큽니다. 면적 100m2, 클린룸 높이 3m, 공기 청정도 ISO6(즉, 클래스 1000)의 클린룸을 예로 들면: "클린룸 설계 사양(GB500073-2001) )"에서는 공기 청정도 ISO6의 클린룸 환기 횟수를 50∽60회/시간으로 규정하고 있습니다. 여기서는 환기 빈도를 55회/h로 가정하고 총 순환 공기량은 16500CMH, 신선한 공기량은 3000CMH입니다.
계획 1AHU 시스템에서 MAU의 총 압력 손실은 700Pa이고 전력은 2.2kw입니다. AHU의 총 압력 손실은 1300Pa이고 전력은 15kw입니다. 전체 시스템의 총 전력은 17.2kw입니다.
2FFU 시스템 계획에서 MAU의 총 압력 손실은 800Pa이고 전력은 2.2kw입니다. FFU는 14개(사양은 1200×600, 풍량은 1200CMH), 단일 FFU의 전력은 190W, FFU의 총 전력은 2.66kw입니다. 전체 시스템의 총 전력은 4.86kw입니다.
FFU는 시스템에서 순환 공기 캐비닛과 고효율 필터의 집합체 역할을 하며, 순환 공기 캐비닛 AHU보다 전력 소비가 훨씬 적습니다. 이는 보존 지향 사회를 적극적으로 추진한다는 현재 주제와 일치합니다. 공장에 생산비 절감의 새로운 방향을 제시합니다.
----------------------------저소음----------------------------
편리함과 유연성:
FFU에는 마이크로 팬이 장착되어 있어 지역에 구애받지 않고 필요에 따라 다양한 지역에서 제어가 가능합니다. 과학 기술의 지속적인 발전, 특히 집적 회로 기술의 급속한 발전으로 인해 클린룸 공기 청정도 수준에 대한 요구 사항이 점점 더 높아지고 있으므로 클린룸 공기 청정도 수준의 업그레이드는 불가피한 추세입니다. 원래의 청정 공조 방식이 MAU+AHU+HEPA라면 소위 클린룸 업그레이드는 재건축을 의미하는데, 변형은 시공의 어려움과 시공 과정에서 원래 천장과 천장 파이프의 손상과 관련이 있기 때문입니다. 최종 투자는 재건축 투자와 크게 다르지 않으며 클린룸 온도 및 습도 제어에 대한 요구 사항이 더 높습니다. 게다가 에너지 절약에도 도움이 되지 않습니다. 그러나 원래 시스템이 MAU+FFU+DC 건식 코일의 공조 방식을 채택하는 경우 클린룸의 총 순환 공기량은 FFU의 공기량과 중국 팬 필터 유닛 FFU의 설치를 합한 것이기 때문에 천장 프레임과 결합하여 클린룸 업그레이드는 클린 천장의 해당 FFU 수를 늘리는 것입니다. 시스템에 공기덕트가 적기 때문에 공기덕트의 제작 및 설치가 생략되어 시공난이도가 대폭 줄어들며, 공사기간도 대폭 단축된다. 제품의 시장 점유율은 시장 진입 시기에 따라 크게 달라집니다. 일찍 진입할수록 시장을 선점하고 수익을 보기가 더 쉽습니다. 또한 모든 투자자는 최단 시간 내에 수익을 얻기를 희망하며 이는 FFU 시스템의 장점을 더 잘 반영할 수 있습니다.
또한, 예를 들어, 특정 생산 공정에서 요구되는 공기 청정도 수준을 클린룸에서 달성할 수 없고, 클린룸 수준을 업그레이드하는 것이 너무 낭비적이거나 불필요한 경우, FFU의 특성을 활용하여 클린룸 공기를 만들 수 있습니다. 국소 청정도 수준을 향상시키는 공급 장치(예: FFU 층류 후드).
공간 절약 : AHU 시스템에는 공기 덕트가 많고 상하수도, 방화, 공정 등의 파이프 라인이 많기 때문에 클린 룸의 천장이 복잡하고 복잡하여 검사 및 작업에 많은 불편을 초래합니다. 유지. FFU 시스템은 신선공기 공급덕트만 있고 많지 않기 때문에 천장에 배관이 적고 깔끔하고 정돈되어 있어 점유공간이 자연스럽게 줄어들어 향후 점검 및 유지보수와 클린룸을 위한 효율적인 공간이 많이 남습니다. 업그레이드.
설치 용이성: 일반적으로 FFU 시스템을 사용하는 클린룸의 천장은 천장 프레임으로 고정됩니다. 깨끗한 천장을 선택할 때 FFU의 외부 크기와 천장 프레임의 크기와 간격만 일치시키면 됩니다. 이런 식으로 설치할 때 FFU를 천장 프레임에 배치하기만 하면 됩니다. 설치가 간단하고 빠를 뿐만 아니라, 클린룸 천장과 동일한 크기로 깔끔하고 아름답습니다.
----------------------------FFU 제어 시스템----------------------------
FFU 시스템의 제어에는 다중 속도 스위치 제어, 무단 속도 제어, 원격 제어, 컴퓨터 그룹 제어 등과 같은 여러 제어 모드가 있습니다. 일반적으로 중앙 에어컨의 제어 모드에 따라 경제적이고 합리적인 제어 방법이 선택됩니다. 클린룸의 시스템, 클린룸의 FFU 수, FFU 제어 시스템에 대한 고객의 요구 사항.
다중 속도 스위치 제어 시스템은 FFU의 관리 및 제어를 달성하기 위해 속도 제어 스위치와 전원 스위치를 설치하는 것입니다.
----------------------------장점----------------------------
간단한 구조, 안정적인 속도 조절, 낮은 투자 비용; 단점: 제어가 상당히 불편하고, 천장에서 직원이 속도를 조절해야 한다.
원격 제어는 FFU의 제어 및 관리를 실현하기 위해 적외선 신호 또는 무선 주파수 신호를 통해 마이크로 팬의 스위치 및 속도 제어 명령을 전송하는 것입니다. 원격 제어는 필요에 따라 FFU를 개별적으로 또는 그룹으로 제어할 수도 있지만 이를 위해서는 다른 원격 컨트롤러를 사용해야 합니다. 장점: 구조가 간단하고 속도 조절이 안정적이며 제어가 편리하고 투자 비용이 낮습니다. 단점: 공장에는 제어 장치가 많기 때문에 강력한 전자기 신호를 생성하여 FFU의 원격 제어가 방해를 받고 잘못된 작동을 수행합니다. 따라서 이러한 제어 방법의 사용은 환경에 따라 다르며 모든 공장에 적합하지는 않습니다.
컴퓨터 그룹 제어 시스템은 호스트(PC) - RS232/485 변환 인터페이스 - 마스터 라우터 - 슬레이브 라우터 - FFU 제어 모듈 4- 레이어 구조를 사용하는 RS485 버스 설계를 기반으로 하며 마스터 제어(PC)는 최대 9개의 마스터 라우터를 관리할 수 있으며, 각 마스터 라우터는 31개의 슬레이브 라우터를 관리할 수 있으며, 슬레이브 라우터의 최대 수는 255개를 넘지 않으며, 각 슬레이브 라우터는 31개의 FFU 제어 모듈을 제어할 수 있으며, 시스템은 최대 31개의 FFU 제어 모듈을 제어할 수 있습니다. 7905 FFU 팬.
이러한 유형의 제어 방법의 장점: 제어가 쉽고 속도 조절 범위가 넓으며 보다 복잡한 제어가 가능합니다. 분산 제어를 사용하여 FFU의 중앙 제어 및 모니터링을 달성할 수 있습니다. 다양한 시스템의 FFU 분할 및 시스템 제어를 달성하고 단일 FFU를 모니터링할 수 있습니다. 지능형 제어 시스템에는 에너지 절약 기능이 있습니다. 단점: 구조가 복잡하고 디버깅 난이도가 높으며 투자 비용이 높습니다.
----------------------------기술적 요점----------------------------
공기 청정도 수준에 대한 클린룸의 요구 사항과 클린룸 환경 온도 및 습도에 대한 생산 공정의 요구 사항 중에서 FFU 시스템의 선택은 프로젝트의 시작일 뿐입니다. 저자의 회사가 다년간 전자공장의 클린룸을 설계 및 시공한 경험을 바탕으로, 에너지 절약형, 공기 청정도 수준의 고품질 클린룸을 만들기 위해서는 다음과 같은 전문적인 지식이 필요하다는 결론을 얻었다. 에어컨 정화, 중앙 에어컨 시스템의 에너지 소비 구성 및 공기 처리의 세부 프로세스를 이해하고 중앙 에어컨 시스템의 직접 디지털 제어 시스템(DDC) 사용에 익숙해집니다. 또한 클린룸 건설 공정은 일반 에어컨 프로젝트와 다르기 때문에 해당 프로젝트의 건설 기술도 고급 클린룸 건설에 중요한 보증입니다.
또한 설계 단계에도 주의를 기울일 필요가 있습니다. 클린룸의 온도, 습도 및 공기 청정도 수준에 대한 요구 사항이 다르기 때문에 시스템을 합리적이고 정확하게 선택하는 것도 매우 중요합니다. 과도한 설치 용량과 투자로 인해 불필요한 에너지와 자금의 낭비가 발생하고 시스템조차도 클린룸의 요구 사항을 완전히 충족할 수 없습니다. 합리적인 공조 시스템은 청정실 공조 부하 및 공기 청정도 수준을 기반으로 해야 합니다. 세부적인 계산을 거쳐 필요한 공기량의 결과를 얻고 관련 전문 지식을 바탕으로 선택 및 결정을 내립니다.
----------------------------프로젝트 사례----------------------------
전자 기업의 클래스 1000 클린룸은 면적이 780m2이고 3개의 작은 클린룸, 즉 면적이 310m2인 클린룸 A, 면적이 325m2인 클린룸 B, 클린룸으로 구성되어 있습니다. C 면적은 145m2입니다. 청정구역의 높이는 2.5m이다. 사용되는 공조 방식은 MAU+FFU+DC 건식 코일입니다. 신선한 공기는 MAU에서 처리된 후 깨끗한 천장 메자닌으로 직접 보내지고, 반환 공기는 클린룸 양쪽의 반환 공기 채널과 중간 반환 공기 기둥을 통해 천장 메자닌으로 들어갑니다.
설계 계산의 주요 데이터는 다음과 같습니다.
클린룸의 온도 요구 사항은 22±2도이고 공기의 상대 습도는 55±5℅입니다. 실외 공기 상태 매개변수는 광동성 광저우의 공기 매개변수입니다. 여름 건구 온도는 33.5도, 습구 온도는 27.7도, 공기의 상대 습도는 67℅입니다. 겨울 건구 온도는 5도, 습구 온도는 3도, 공기의 상대 습도는 70℅입니다.
에어컨 냉방 부하 계산에 따르면 클린룸 A의 냉방 부하는 103kw입니다. 클린룸 B의 냉각부하는 112kw이다. 클린룸 C의 냉각부하는 50kw이다. 본 프로젝트에 사용되는 FFU는 풍량 1200CMH/H, 출력 0.17kw입니다. 클린룸 A에 대해 선택된 FFU의 수는 44개입니다. 클린룸 B에 대해 선택된 팬 및 장비의 수는 54개입니다. 클린룸 C에 선택된 FFU의 수는 24개입니다. 신선한 공기 장치의 공기량은 MAU-A의 경우 6000CMH, MAU-B의 경우 8000CMH, MAU-C의 경우 3000CMH입니다. 전체 시스템의 총 팬 전력은 29.94kw입니다.
MAU+FFU+DC 건식 코일의 구체적인 레이아웃은 아래 그림에 나와 있습니다.
본 프로젝트 범위 내의 공조 시스템 제어는 전체 공장의 중앙 공조 DDC(직접 디지털 컨트롤러) 제어 시스템에 통합되어 있지만 이 시스템과 파티에는 더 나은 환기 및 난방을 위한 도매 ffu 팬이 많이 있다는 점을 고려하면 A는 FFU 작동에 대한 실시간 모니터링이 필요하며 FFU 컴퓨터 그룹 제어 시스템이 채택됩니다.
이 프로젝트에서 AHU 시스템을 사용하는 경우 클린룸 공기 공급의 AHU 공기량은 클린룸 A의 경우 46500CMH입니다. 클린룸 B의 경우 48500CMH; 클린룸 C의 경우 22000CMH; 시스템의 신선한 공기량은 12000CMH입니다. 전체 시스템의 총 팬 전력은 80.5kw입니다.
총 순환 공기량은산업 EC Ffu의146400CMH, 신선한 공기량은 17000CMH, 총 전력은 29.94kw입니다. AHU 시스템의 총 순환 공기량은 117000CMH, 신선한 공기량은 12000CMH, 총 전력은 80.5kw입니다. 또한, AHU 시스템의 통합형 공기 캐비닛은 풍량과 외부 크기가 크고, 공조실의 넓은 면적을 차지합니다. FFU 시스템의 총 전력은 62.8% 절감됩니다. 이에 비해 FFU 시스템은 순환 공기량이 크고 에너지 소비가 적으며 업그레이드가 쉽고 에어컨 실의 작은 면적을 차지합니다.
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